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가스계측가스산업기사 · 2012년05월20일 · 69/80

69.일반적으로 사용되는 진공계중 정밀도가 가장 좋은 것은?

1
격막식 탄성 진공계
2
열음극 전리 진공계정답
3
맥로드 진공계
4
피라니 진공계

해설

열음극 전리 진공계 측정범위:10^-10torr 맥로드 진공계 측정범위:10^-4torr 피라니 진공계 측정범위:10~10^-5torr

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