표면공학금속재료기사 · 2018년04월28일 · 100/100
100.플라즈마 CVD에 대한 설명으로 틀린 것은?
1
화학적 기상도금보다 코팅 속도가 느리다.정답
2
폴리머와 같이 고온에서 불안정한 기지 위에 금속코팅이 가능하다.
3
열에너지가 아닌 천이된 전자에 의하여 반응 가스가 활성화된다.
4
열 CVD법에 비하여 기지의 온도가 낮은 (300℃이하) 상태에서 밀착성이 우수한 피막을 얻는다.
해설
저온임에도 불구하고 증착속도가 빠르지만 막의 품질은 떨어짐 다른 CVD는 1,000℃ 정도이나 플라즈마 CVD (PECVD)는 400℃ 정도에서 증착