온실가스 배출의 이해온실가스관리기사 · 2018년09월15일 · 23/100
23.온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업에서 화확기상증착시설(CVD)의 공정배출로 배출되는 온실가스의 종류로 거리가 먼 것은?
1
CF4
2
CH4정답
3
CHF3
4
C3F8
해설
전자 산업에서는 실온에서 가스 상태인 불소화합물(Fluorinated Compounds, FCs) 및 N2O가 사용되며 주로 실리콘 포함 물질의 플라즈마 식각, 실리콘이 침전되어 있던 화학증착(CVD) 기구의 내벽을 세정하는데 사용된다. 그리고 생산과정에서 사용되는 불소화합물 중 일부분은 부산물인 CF4, C2F6, CHF3, C3F8로 전환되기도 한다.