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임의 구분표면처리기능장 · 2008년07월13일 · 28/60

28.건식도금법 중 직류 스퍼터링에 대한 설명으로 옳은 것은?

1

저에너지로 기판에 들어오게 되므로 밀착 강도가 작다.

2

타켓재료성분 그대로 스퍼터 코팅을 할 수 없다.

3

조성이 복잡한 것은 적용시킬 수 없다.

4

전류량과 생성파악의 두께가 정비례하므로 콘트롤이 쉽다.정답

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