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화학공업개론화공기사(구)(구) · 2005년05월29일 · 106/120

106.다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?

1

라디칼 및 이온 반응종이다.정답

2

에칭상태는 등방성이다.

3

Al도 에칭이 가능하다.

4

실리콘상의 SiO2 에칭이 불가능하다.

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