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공업화학화공기사(구) · 2014년09월20일 · 67/100

67.박막형성기체 중에서 SiO2 막에 사용되는 기체로 가장 거리가 먼 것은?

1

SiH4

2

O2

3

N2O

4

PH3정답

해설

이산화규소(SiO2) 형성을 위한 cvd 기체에 대한 문제 si랑 o 없는거 찾으면 됨 즉 4번

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