공업합성화공기사 · 2022년04월24일 · 13/80
13.반도체 제조과정 중에서 식각공정 후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액의 주원료에 해당하는 것은?
1
질산, 암모니아
2
불산, 염화나트륨
3
에탄올, 벤젠
4
황산, 과산화수소정답
해설
반도체 세정 과정에서 쓰이는 용액은 4가지로, SC-1, SC-2, piranha, HF가 존재한다. SC-1은 암모니아와 과산화수소, 물의 혼합액 SC-2는 염산, 과산화수소, 물의 혼합액 Piranha는 황산, 과산화수소 혼합액 HF는 불화수소산.