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과목 구분 없음9급 지방직 공무원 공업화학 · 2023년06월10일 · 20/20

20.웨이퍼 표면 위에 스핀 코팅(spin coating)을 통해 감광제를 도포하였다. 목표한 두께에 비해 도포된 감광제층이 얇을 경우 이를 개선하기 위한 방법은?

1

웨이퍼의 반경을 늘린다.

2

감광제 용액의 점도를 낮춘다.

3

웨이퍼의 회전속도를 낮춘다.정답

4

감광제 용액 내 고형분의 함량을 낮춘다.

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