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과목 구분 없음9급 지방직 공무원 서울시 공업화학 · 2015년06월13일 · 10/20

10.반도체 박막제조에 이용되는 스퍼터링(sputtering)법의 장점이 아닌 것은?(정답률:알수없음)

1

웨이퍼 전 면적에 걸친 고른 박막의 증착이 가능하다.

2

다른 불순물에 의한 오염가능성이 적다.정답

3

박막의 두께 조절이 용이하다.

4

합금물질을 증착하기 위한 많은 표적물질(target)들이 있다.

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