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가스계측기기가스기사 · 2009년05월10일 · 86/100

86.다음 중 반도체용 초고순도 분위기 가스 중의 초미량 수분함량을 측정하는 분석기기로서 가장 낮은 농도의 측정에 사용되는 것은?

1

P2O5 celltype 수분계

2

적외선 분광분석계(FT-IR)

3

대기압 이온화질량분석계(APIMS)정답

4

광학식 노점계(chilled mirror type hygrometer)

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