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레이저 및 광전자광학기사 · 2016년05월08일 · 79/80

79.광 리소그라피에서 초미세 형상의 노광에 가장 적합한 레이저는?

1

He-Ne 레이저

2

구리 증기 레이저

3

Nd:YAG 레이저

4

ArF 엑시머 레이저정답

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