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표면공학금속재료기사 · 2012년05월20일 · 83/100

83.플라즈마 CVD에 대한 설명으로 틀린 것은?

1

화학적 기상도금보다 속도가 느리다.정답

2

폴리머와 같이 고온에서 불안정한 기지 위에 금속코팅이 가능하다.

3

열에너지가 아닌 천이 된 전자에 의하여 반응가스가 활성화 된다.

4

열CVD법에 비하여 기지의 온도가 낮은(300°C 이하) 상태에서 밀착성이 우수한 피막을 얻는다.

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