표면공학금속재료기사 · 2012년05월20일 · 98/100
98.화학증착(CVD-Chemical Vapor Deposition) 법을 옳게 설명한 것은?
1
피복하고자하는 금속을 증발하여 이온화시켜 피복한다.
2
타겟(target) 재료의 원자를 스퍼터(Sputter) 시켜 마주보는 기판위에 피복한다.
3
금속용액에 기판을 침지하여 화학적으로 치환 도금 한 것이다.
4
가열된 소재에 피복하고 자하는 피막성분을 포함한 원료의 혼합가스를 접촉시켜 증착한다.정답