표면공학금속재료기사 · 2022년04월24일 · 89/100

89.진공증착법과 비교한 음극 스퍼터링에 대한 설명으로 틀린 것은?

음극 스퍼터링은 전류량과 생성피막의 두께가 정비례하므로 두께 조절이 쉽다.

음극 스퍼터링은 진공증착법 보다 저진공에서 가능하다.

음극 스퍼터링은 스퍼터 입자의 수가 많아서 도금속도가 빠르다.정답

음극 스퍼터링은 튕겨진 입자가 큰 운동에너지를 가지고 있어서 막이 치밀하고 밀착도 좋다.

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