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반도체공학반도체설계산업기사(변경) · 2019년04월27일 · 11/80

11.실리콘 공정에서 산화막에 대한 설명으로 틀린 것은?

1
건식 산화 공정보다 습식 산화 공정의 반응 속도가 빠르다.
2
이미 형성된 산화막이 추후의 산화공정에서의 성장속도에 영향을 준다.정답
3
건식 산화 공정으로 형성된 산화막의 구조가 더 치밀하다.
4
산화막은 절연체이다.

해설

건식은 품질이졸고 습식은 공정속도가 빠르다

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