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반도체설계산업기사(변경)
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2019년04월27일
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11번
반도체공학
반도체설계산업기사(변경) · 2019년04월27일 · 11/80
11.
실리콘 공정에서 산화막에 대한 설명으로 틀린 것은?
1
건식 산화 공정보다 습식 산화 공정의 반응 속도가 빠르다.
2
이미 형성된 산화막이 추후의 산화공정에서의 성장속도에 영향을 준다.
정답
3
건식 산화 공정으로 형성된 산화막의 구조가 더 치밀하다.
4
산화막은 절연체이다.
해설
건식은 품질이졸고 습식은 공정속도가 빠르다
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