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집적회로 설계이론반도체설계산업기사(변경) · 2019년04월27일 · 65/80

65.반도체 공정에서 기체 상태의 화합물을 분해한 후 화학적 반응에 의해 반도체 기판 위에 박막이나 에피층을 형성하는 공정은?

1

진공증착(Evaporation)

2

스퍼터링(Sputtering)

3

화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)정답

4

분자선증착(Molecular Beam Epitaxy)

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