온실가스 배출의 이해온실가스관리기사 · 2014년09월20일 · 25/100
25.전자산업에서 다음의 웨이퍼 가공 공정 중 가장 먼저 이루어지는 것은?(단, 온실가스 에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침 기준)
1
박막형성공정정답
2
식각공정
3
성형공정
4
사진공정
해설
웨이퍼 가공 공정 산화공정(박막형성공정) -> 감광액 도포(Photo) -> 노광 -> 현상(성형) -> 식각(Etching) -> 이온주입 -> 화학기상증착(CVD) -> 금속 배선