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온실가스 배출의 이해온실가스관리기사 · 2016년05월08일 · 40/100

40.반도체 및 기타 전자부품 제조시설에서 온실가스 공정배출시설이 옳게 짝지어진 것은?

1

식각시설, 증착시설정답

2

시각시설, 결정성장로

3

결정성장로, 증착시설

4

웨이퍼 세정시설, 잉곳 절단 시설

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