온실가스 배출의 이해온실가스관리기사 · 2019년09월21일 · 32/100
32.온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업의 보고대상 배출시설 공정으로 옳게 짝지어진 것은?
1
산화-식각 공정
2
식각-증착 공정정답
3
노광-증착 공정
4
노광-산화 공정
해설
증착 : 웨이퍼에 막을 형성 노광 : 형성된 막 위에 회로패턴 그림 식각 : 웨이퍼에 새겨진대로 조각함 ※온실가스 보고대상 배출시설 : 식각시설과 증착시설
증착 : 웨이퍼에 막을 형성 노광 : 형성된 막 위에 회로패턴 그림 식각 : 웨이퍼에 새겨진대로 조각함 ※온실가스 보고대상 배출시설 : 식각시설과 증착시설