온실가스 배출의 이해온실가스관리기사 · 2021년05월15일 · 35/100
35.다음 ( )에 가장 적합한 내용은?
1
백금화합물
2
질소화합물
3
불소화합물정답
4
구리화합물
해설
전자 산업에서는 실온에서 가스 상태인 불소화합물(Fluorinated Compounds, FCs) 및 N2O가 사용되며 주로 실리콘 포함 물질의 플라즈마 식각, 실리콘이 침전되어 있던 화학증착(CVD) 기구의 내벽을 세정하는데 사용된다. 그리고 생산과정에서 사용되는 불소화합물 중 일부분은 부산물인 CF4, C2F6, CHF3, C3F8로 전환되기도 한다.