온실가스 산정과 데이터 품질관리온실가스관리기사 · 2021년05월15일 · 46/100
46.온실가스 배출권거래제의 배출량 보고 및 인증에 관한 지침에 따라 Tier 2a에 따른 반도체/LCD/PV 생산부문에서 온실가스 배출량 산정방법에 관한 설명으로 옳지 않은 것은?
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가스 소비량과 배출제어 기술 등 사업장별 데이터를 기반으로 사용된 각각의 FCs 배출량을 계산하는 방법이다.
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적용된 변수들은 반도체나 TFT-FPD 제조공정에서 사용된 가스량, 사용 후에 Bombe에 잔류하는 가스량 등이다.
3
배출량 산정은 공정중 사용되는 가스 및 CF4, C2F6, C3F8 등의 부생가스까지 합산해야 한다.
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식각⋅증착공정의 구분을 할 수 없거나 단일시설(식각 또는 증착)로 구성된 경우에는 적용할 수 없다.정답
해설
Tier2a는 가스 소비량과 배출제어 기술 등 사업장별 데이터를 기반으로 사용된 각각의 FC 가스 및 N2O를 계산하는 방법이다. 적용된 변수들은 반도체나 디스플레이 제조 공정에서 사용된 가스량, 사용 후에 Bombe에 잔류하는 가스량 등이다. 배출량 산정은 공정중 사용되는 가스 및 CF4, C2F6, CHF3, C3F8 등의 부생가스 까지 합산해야 한다. "Tier2a 방법론은 식각ㆍ증착공정의 구분을 할 수 없는 경우 적용할 수 있다."