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물리전자공학전자기사 · 2017년03월05일 · 69/100

69.집적회로 내에서 전기적인 상호배선 사이의 절연과 불순물 확산에 대한 보호층을 형성하는 반도체 공정은?

1

이온주입공정

2

금속배선공정

3

산화공정정답

4

광사진식각공정

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