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공업화학화공기사(구) · 2017년03월05일 · 70/100

70.반도체 제조공정 중 원하는 형태로 패턴이 형성된 표면에서 원하는 부분을 화학반응 또는 물리적 과정을 통해 제거하는 공정은?

1
리소그래피
2
에칭정답
3
세정
4
이온주입공정

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