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공업화학화공기사(구) · 2018년09월15일 · 67/100

67.반도체 제조과정 중에서 식각공정 후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액의 주 원료에 해당하는 것은?

1

질산, 암모니아

2

불산, 염화나트륨

3

에탄올, 벤젠

4

황산, 과산화수소정답

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