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화학공업개론화공기사(구)(구) · 2003년05월25일 · 110/120

110.반도체 제조과정중에서 식각공정후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액은?(정답률:알수없음)

1

NH4OH + HF + H2O

2

HCl + HF + H2O

3

NH4OH + H2O2 + H2O

4

HCl + H2O2 + H2O정답

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