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화학공업개론화공기사(구)(구) · 2003년08월31일 · 113/120

113.반도체 제조 공정중 원하는 형태로 패턴이 형성된 표면에서 원하는 부분을 화학반응 혹은 물리적 과정을 통하여 제거하는 공정은?(정답률:알수없음)

1

세정공정

2

식각공정정답

3

포토리소그래피

4

건조공정

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